В рентгеновской микроскопии используют специальные приборы —
рентгеновские микроскопы.
Разрешающая способность достигает 100
нм, что в 2 раза выше, чем у оптических микроскопов (200нм). Теоретически рентгеновская микроскопия позволяет достичь на 2 порядка лучшего разрешения, чем оптическая (поскольку длина волны рентгеновского излучения меньше на 2 порядка). Однако современный оптический микроскоп -
наноскоп имеет разрешение до 3-10нм.