Образована в
1795 после третьего раздела
Речи Посполитой и присоединения к Российской империи западно-белорусских и литовских земель. Первоначально делилась на уезды Браславский (впоследствии Новоалександровский), Виленский, Вилькомирский, Завилейский, Ковенский, Ошмянский, Россиенский, Тельшевский, Трокский, Упитский (Поневежский), Шавельский. В ходе административно-территориальных реформ
Павла I по указу от 12 декабря
1796 в
1797 слита со Слонимской губернией в одну Литовскую губернию с губернским правлением помещалось в
Вильне. При
Александре I Литовская губерния в
1801 разделена на Виленскую губернию (до
1840 называлась Литовско-Виленской губернией) и
Гродненскую губернию (прежняя Слонимская губерния).