وقفه سختافزاري تقاضاي از واحد پردازش مرکزي، که يا به صورت خارجي بوسيله سختافزاري چون ديسک سخت يا پورت ورودي/خروجي توليد ميشود و يا بصورت داخلي بوسيله خودCPU.وقفههاي سختافزاري خارجي براي شرايطي چون دريافت کاراکتر از يک پورت و نياز آن به پردازش، آمادگي يک ديسک گردان براي انتقال بلوکي از داده ها، يا تيک تايمر سيستم هستند. وقفههاي سختافزاري داخلي زماني رخ ميدهد که يک برنامه اقدام به عمل غير ممکني چون دستيابي به يک نقطه ناموجود يا تقسيم عدد بر صفر ميکند، سطوح اهميت يا اولويت هايي به وقفههاي سختافزاري داده ميشود.بالاترين اولويت به نوعي وقفه بنام وقفه ماسک ناپذير -وقفه اي که نشانگر يک خطاي جدي، مثلاً خرابي حافظه، بوده و بايد فوراً سرويس بگيرد- داده ميشود.