19世纪,英国著名物理学家
法拉第在一次实验中偶然液化了氯气,他由此认为,一切气体在低温高压的情况下都是可以液化的。到了19世纪40年代,法拉第本人已经液化了当时已经发现的除
氧气、
氮气、氢气、
一氧化碳、
二氧化氮、
甲烷六种气体之外的所有气体,制造出的最低温度达到了-110°C。法拉第之后,低温设备不断完善,逐级降温和定压气体膨胀的方法开始广泛应用,1898年英国物理学家
杜瓦液化了氢气,标志着这六种气体全部被液化。1895年,英国化学家从矿石中分离出更加难以液化的
氦气,直到1908年,荷兰莱顿大学的物理学家
昂尼斯终于将其液化,并创造出了新的低温记录——-269°C(4K)。昂尼斯获得1913年的
诺贝尔物理学奖。