Defekt (Halbleitertechnik)

Als Defekte werden in der Halbleitertechnik allgemein unerwünschte, lokale Fehler bei der Fertigung von Halbleiterprodukten bezeichnet. Sie mindern im Allgemeinen die Qualität und Zuverlässigkeit der Produkte und können den vollständigen Funktionsausfall dieser verursachen. Angegeben werden Defekte häufig in Form der Defektdichte D, der Anzahl von Defekten pro Flächeneinheit, oder der Defektdichte pro lithografischer Maskenebene.