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Dotierung
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Dotierung
Eine
Dotierung
oder das
Dotieren
(von , ,ausstatten‘) bezeichnet in der
Halbleitertechnik
das Einbringen von
Fremdatomen
in eine Schicht oder in das Grundmaterial eines
integrierten Schaltkreises
. Die bei diesem Vorgang eingebrachte Menge ist dabei sehr klein im Vergleich zum Träger
material
(zwischen 0,1 und 100
ppm
). Die Fremdatome sind
Störstellen
im
Halbleiter
material und verändern gezielt die Eigenschaften des Ausgangsmaterials, meistens die
elektrische Leitfähigkeit
oder die
Kristallstruktur
.
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