Die
Fotolithografie (auch
Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der
Halbleiter- und
Mikrosystemtechnik zur Herstellung von
integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer
Fotomaske auf einen lichtempfindlichen
Fotolack übertragen. Anschließend werden die belichteten Stellen des Fotolacks aufgelöst (alternativ ist auch die Auflösung der unbelichteten Stellen möglich, wenn der Fotolack unter Licht aushärtet). So entsteht eine
lithografische Maske, die die weitere Bearbeitung durch chemische und physikalische Prozesse ermöglicht, etwa das Einbringen von Material in die offenen Fenster oder das Ätzen von Vertiefungen unter den offenen Fenstern.