Kritische Abmessung

Unter kritische Abmessung (, CD), seltener kritische Dimension oder kritisches Maß, versteht man in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik eine oder mehrere vom Schaltkreisdesigner oder Prozessingenieur definierte Größen in einer Teststruktur, deren Größe systematisch Aussagen über die Qualität der Fertigung eines Prozessschrittes zulässt, beispielsweise eine Linienbreite oder der Durchmesser von Kontaktlöchern. Die Kontrolle des CD-Wertes ist neben der Kontrolle des Overlay-Versatzes eine der wichtigsten Teilschritte in der Herstellung von mikroelektronischen Produkten.