Un
microsystème électromécanique est un
microsystème comprenant un ou plusieurs éléments
mécaniques, utilisant l’
électricité comme source d’
énergie, en vue de réaliser une fonction de
capteur ou d’
actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions
micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure. Le terme
systèmes microélectromécaniques est la version française de l’acronyme anglais
MEMS . En Europe, le terme
MST pour est également d’usage, bien que nettement moins répandu.