Die
Mikrosystemtechnik (MST, engl.
micro systems technology), selten auch
Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der
Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von
Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.