La
nanolitografía o
litografía a la escala del
nanómetro, se refiere a la fabricación de microestructuras con un tamaño de escala que ronda los nanómetros. Esto implica la existencia de patrones litografiados en los que, al menos, una de sus dimensiones longitudinales es del tamaño de
átomos individuales y aproximadamente del orden de 10 nm. La nanolitografía se usa durante la fabricación de
circuitos integrados de
semiconductores o sistemas nanoelectromecánicos, conocidos como
Nanoelectromechanical Systems o NEMS.