Als
Defekte werden in der
Halbleitertechnik allgemein unerwünschte, lokale Fehler bei der Fertigung von Halbleiterprodukten bezeichnet. Sie mindern im Allgemeinen die Qualität und Zuverlässigkeit der Produkte und können den vollständigen Funktionsausfall dieser verursachen. Angegeben werden Defekte häufig in Form der
Defektdichte D, der Anzahl von Defekten pro
Flächeneinheit, oder der Defektdichte pro lithografischer Maskenebene.