Unter
Elektromigration (EM) versteht man einen Materialtransport durch allmähliche Bewegung von
Ionen in einem festen
Leiter, der durch den
elektrischen Strom verursacht wird. Kollisionen von
Elektronen mit den Ionen und in geringerem Maß auch das
elektrische Feld üben eine Kraft auf die Ionen aus, weshalb sie während eines
Diffusionsschrittes bevorzugt in eine bestimmte Richtung wandern. Durch die Verkleinerung der Strukturen erhöht sich die praktische Bedeutung dieses Effekts.