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LIGA (Fertigungsverfahren)
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LIGA (Fertigungsverfahren)
Das deutsche
Akronym
LIGA
oder
LiGA
(steht für die Verfahrensschritte:
Li
thographie,
G
alvanik und
A
bformung) bezeichnet ein Verfahren, welches auf einer Kombination von
Tiefenfotolithographie
,
Galvanik
und
Mikroabformung
basiert. Das LIGA-Verfahren wurde Anfang der 1980er Jahre am damaligen
Kernforschungszentrum Karlsruhe
von einem Team unter Leitung von
Erwin Willy Becker
und Wolfgang Ehrfeld im Rahmen der Entwicklung des
Trenndüsenverfahrens
zur
Urananreicherung
entwickelt, um extrem kleine Trenndüsen herstellen zu können.
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