Rastertransmissionselektronenmikroskop

Ein Rastertransmissionselektronenmikroskop (RTEM; , STEM) ist ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Elektronenstrahl auf eine dünne Probe fokussiert wird und zeilenweise ein bestimmtes Bildfeld abrastert. Als Bildsignal werden in der Regel die durch die Probe transmittierten Primärelektronen benutzt, deren Strom synchron zur Position des Elektronenstrahles gemessen wird. Der Bildentstehung nach handelt es sich um eine Unterform des Rasterelektronenmikroskops (REM), der Untersuchungsgeometrie nach um ein Transmissionsmikroskop. An die Proben werden die gleichen Anforderungen bezüglich Durchstrahlbarkeit gestellt wie beim Transmissionselektronenmikroskop (TEM; zur Abgrenzung oft auch als , CTEM, bezeichnet).