Strukturgröße

Die Strukturgröße oder auch Strukturbreite ist eine Größenangabe der Halbleitertechnik und beschreibt die Kantenlänge der bestimmenden Plotter-Einheit. Es handelt sich dabei also um das Maskenmaß, das heißt das Zielmaß. Die Abmessungen der damit erzeugten Strukturen sind durch Unterbelichtung und Diffusion in der Regel etwas kleiner als die für die Maske benutzte Plotter-Einheit.